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TEL 저온식각이 왜 혁명이냐면 (갑자기 초혁신 터졌다는 반도체업계 근황)
저온식각 일명 cryo etching은 201X년대부터 낸드 기술이 2D 한계에 봉착했을 때 꿈의 기술로 각광받았음그런데 일단 초저온 가스인 액화질소나 산소가 비싸고 공정 컨트롤의 난이도(극저온 칠러비용, 가스혼합비 등) 때문에 다들 개발에 성공하지 못했음그 와중에 TEL이 이번에 해당기술 개발에 성공해서 들고나온건데저온식각이 얼마나 쩌는지 알아보자식각 효율을 나타내는 숫자인 Etch Rate(줄여서 E/R)라는게 있음E/R = 식각 깊이(Å)/공정 시간(m)이라 얼마나 깊이 빠르게 식각을 쳐내느냐를 나타내는 E/R은 쓰루풋이 중요한 반도체 공정에서 중요한 숫자임왼쪽 파이차트: 일반 플라즈마 식각 가스 혼합비중간 파이차트: 연구단계의 저온식각 가스 혼합비 (1세대 저온식각)오른쪽 파이차트: TEL에서 완성한 저온식각 공정 장비 가스혼합비일반적인 식각보다 중간으로 가면 E/R이 2배가 되는데TEL은 중간과정보다 E/R 2배의 개쩌는 공정을 개발해냄E/R이 4배라는 말은 이론적으로 일반 낸드식각 공정보다 최대 4배로 빠르게 같은 깊이를 식각할 수 있다 or 같은 시간에 4배 더 깊이 식각 할 수 있다는 의미실제로는 식각 속도는 기존 공정보다 두배 빠르고 식각 깊이를 25% 더 깊게 에칭할 수 있다 하더라TEL의 주장에 따르면 10um 에칭하는데 33분이 소요되었으며 84% 탄소발자국 감소효과가 있었다고 함통상적인 플라즈마 공정은 7-8um 에칭하는데 1시간 남짓 걸림그림으로 보자면낸드가 이렇게 생겼는데 채널이 더 깊고 빨리 파짐 -> 낸드 단수 높히는데 예전에는 플라즈마 써서 고단화에 애 먹었는데 고단화 비교적 난이도 내려갈 예정TEL 자료 10um 뚫은 인증 + 깨끗하게 뚫린 바닥 사진 + 기술 세부자료불화수소 메인이라 탄소가스 사용절감으로 인한 ESG 점수는 덤결국 쓰루풋 포함 생산성 방면에서 저온식각이 고단 낸드 적층시 플라즈마 식각 대비 우위를 점하고 있기 때문에 현재 낸드식각 주류인 플라즈마 식각장비가 메인인 램리서치나 어플라이드는 TEL에게 고적층 낸드로 갈수록 마켓쉐어 많이 내줄 수 밖에 없다고 생각함. 좀더 자세한 이야기는 이 분이 글 잘 써놨더라https://blog.naver.com/timesight/223163209160 극저온 식각(Etching)의 도입 : NAND 식각 시장에서 가져올 큰 변화극저온 식각 장비의 개발 도쿄일렉트론은 23.06.09에 극저온 식각 장비를 공식적으로 발표하였습니다. &quo...blog.naver.com
작성자 : 방자_올돌골고정닉
"26년간 갇혀 있었다"…이웃집 지하실서 발견된 남성.jpg
덥수룩하게 수염을 기른 한 중년 남성이 건초로 덮인 지하실 밑 우리에서 나옵니다. 잔뜩 몰려든 사람들과 경찰을 보고 혼란스러워하는 듯한데요. 북아프리카 알제리에서 발생한 일입니다. 지난 1998년 알제리 내전 당시 실종됐던 10대 소년이 무려 26년 만에 극적으로 발견되는 순간인데요. 1998년 학교를 가다가 실종됐던 이 남성은 당시 19살이었고, 이제는 45살의 중년이 되었습니다. 황당하게도 실종됐던 남성은 자신의 집에서 불과 100m도 안 되는 거리에 있는 이웃집 지하실에서 발견됐습니다. 이웃집 주민이 남성을 납치해 지금까지 지하실에 가뒀던 건데요. 이 남성의 가족과 주변 사람들은 내전 중에 이미 사망했을지도 모르겠다고 그동안 생각해 왔다는데요. 최근 납치범과 상속 분쟁을 벌이던 형이 소셜미디어에 동생이 사람을 감금했다고 폭로한 것을 계기로 경찰이 집을 수색하다가 남성을 찾아낼 수 있었다고 합니다. 경찰은 납치범을 체포하고 구출한 남성을 가족에게 돌려보냈는데요. 납치범의 범행 동기는 아직 밝혀지지 않습니다. 누리꾼들은 "계속 뻔뻔하게 한동네에 살았다니, 아무래도 사람이 아닐 듯싶다", "'세상에 이런 일이' 제보감이네요", "영화보다 더 영화 같다, 가족들 심정은 어떨지" 등의 반응을 보였습니다. https://n.news.naver.com/article/055/0001155938?sid=104 "26년간 갇혀 있었다"…이웃집 지하실서 발견된 남성마지막 검색어는 '26년 만에 이웃집에서 발견된 실종 소년'입니다. 덥수룩하게 수염을 기른 한 중년 남성이 건초로 덮인 지하실 밑 우리에서 나옵니다. 잔뜩 몰려든 사람들과 경찰을 보고 혼란스러워하는 듯한데요. 북아프n.news.naver.com와.. 실화냐...? 도대체 무슨 이유로 26년을 ㄷㄷ.. 올드보이보다 9년 더 살았네 미친..
작성자 : ㅇㅇ고정닉
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