중국 반도체 제조용 노광기 개발현황 - 러시아-우크라이나 갤러리

[일반] 중국 반도체 제조용 노광기 개발현황

시타

2024.09.15 20:17:00

조회 123 추천 3 댓글 0

중국, 반도체 제조용 노광기 개발 현황

중국은 65nm와 45nm 공정을 위한 건식 DUV, 28nm 공정을 위한 1세대 [건식] DUV, ASML의 2000i/2050i 급의 2세대 [습식] DUV, 1세대 EUV를 동시에 개발하고 있다. 중국 산업정보화부는 2024년 9월 11일에 이중 65nm와 45nm 공정을 위한 건식 DUV의 생산이 개시되었다고 발표했다.

https://mp.weixin.qq.com/s/fFlPI5ioBabrfV0PUgUhGg

推广应用这些重大技术装备！工信部发布

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mp.weixin.qq.com

의 표 2에서 2.1.6이다. 반도체 전문가들에 따르면, 2.1.6을 8nm 공정을 위한 DUV 생산을 개시했다는 의미로 읽으면 안 된다.

그 외 다른 두 DUV는 테스트 중이며 곧 생산이 개시될 것이라고 하고 1세대 EUV는 2025년 말까지 생산이 개시될 것이라고 한다.

2000i/2050i 급 2세대 [습식] DUV는 7nm 와 5nm 공정에 사용될 수 있다. ASML이 2050i의 첫 제품을 선적한 것이 2020년 10월초이므로 중국이 몇달 안에 생산을 개시한다면 ASML과의 반도체 제조 장비 격차가 불과 4~5년으로 좁혀진 것이다.

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