ASML, 1nm 칩 제조용 EUV 리소그래피 기계 설계를 완료

ASML, 1nm 칩 제조용 EUV 리소그래피 기계 설계를 완료앱에서 작성

ㅇㅇ(39.7) 2020.12.03 12:40:31

조회 40 추천 0 댓글 0

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현재 TSMC와 삼성의 7nm 및 5nm 제조에 NA=0.33의 EUV 노광 장비가 도입되었다고 하는데, 2nm 이후에는 고해상도 노광 장비인 NA=0.55가 필요합니다. 다행히도 ASML은 0.55NA 노광 장비 (예 : NXE : 5000 시리즈)의 기본 설계를 완료했으며 2022년에 상용화될 예정입니다.

위에서 언급한 크기 증가가 광학 장치의 증가로 인해 발생한 이유는 클린 룸 지수가 한도에 도달했기 때문입니다.

현재 판매되고 있는 극 자외선 노광기 2대는 TWINSCAN NXE : 3400B, TWINSCAN NXE : 3400C입니다. 3600D는 내년 중반에 출하될 예정이며 생산 효율은 18% 증가할 것입니다.

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