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TEL 저온식각이 왜 혁명이냐면 (갑자기 초혁신 터졌다는 반도체업계 근황) 저온식각 일명 cryo etching은 201X년대부터 낸드 기술이 2D 한계에 봉착했을 때 꿈의 기술로 각광받았음그런데 일단 초저온 가스인 액화질소나 산소가 비싸고 공정 컨트롤의 난이도(극저온 칠러비용, 가스혼합비 등) 때문에 다들 개발에 성공하지 못했음그 와중에 TEL이 이번에 해당기술 개발에 성공해서 들고나온건데저온식각이 얼마나 쩌는지 알아보자식각 효율을 나타내는 숫자인 Etch Rate(줄여서 E/R)라는게 있음E/R = 식각 깊이(Å)/공정 시간(m)이라 얼마나 깊이 빠르게 식각을 쳐내느냐를 나타내는 E/R은 쓰루풋이 중요한 반도체 공정에서 중요한 숫자임왼쪽 파이차트: 일반 플라즈마 식각 가스 혼합비중간 파이차트: 연구단계의 저온식각 가스 혼합비 (1세대 저온식각)오른쪽 파이차트: TEL에서 완성한 저온식각 공정 장비 가스혼합비일반적인 식각보다 중간으로 가면 E/R이 2배가 되는데TEL은 중간과정보다 E/R 2배의 개쩌는 공정을 개발해냄E/R이 4배라는 말은 이론적으로 일반 낸드식각 공정보다 최대 4배로 빠르게 같은 깊이를 식각할 수 있다 or 같은 시간에 4배 더 깊이 식각 할 수 있다는 의미실제로는 식각 속도는 기존 공정보다 두배 빠르고 식각 깊이를 25% 더 깊게 에칭할 수 있다 하더라TEL의 주장에 따르면 10um 에칭하는데 33분이 소요되었으며 84% 탄소발자국 감소효과가 있었다고 함통상적인 플라즈마 공정은 7-8um 에칭하는데 1시간 남짓 걸림그림으로 보자면낸드가 이렇게 생겼는데 채널이 더 깊고 빨리 파짐 -> 낸드 단수 높히는데 예전에는 플라즈마 써서 고단화에 애 먹었는데 고단화 비교적 난이도 내려갈 예정TEL 자료 10um 뚫은 인증 + 깨끗하게 뚫린 바닥 사진 + 기술 세부자료불화수소 메인이라 탄소가스 사용절감으로 인한 ESG 점수는 덤결국 쓰루풋 포함 생산성 방면에서 저온식각이 고단 낸드 적층시 플라즈마 식각 대비 우위를 점하고 있기 때문에 현재 낸드식각 주류인 플라즈마 식각장비가 메인인 램리서치나 어플라이드는 TEL에게 고적층 낸드로 갈수록 마켓쉐어 많이 내줄 수 밖에 없다고 생각함. 좀더 자세한 이야기는 이 분이 글 잘 써놨더라https://blog.naver.com/timesight/223163209160 극저온 식각(Etching)의 도입 : NAND 식각 시장에서 가져올 큰 변화극저온 식각 장비의 개발 도쿄일렉트론은 23.06.09에 극저온 식각 장비를 공식적으로 발표하였습니다. &quo...blog.naver.com 작성자 : 방자_올돌골고정닉

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미짱 모듬.JPG

개허접노포모솔갤로그로 이동합니다. 2024.04.28 21:29:39
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	                						고정닉
	            						
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0

								

							

														

																					

																								
																								
								
							

						

						
							                

                    
                    					
										
										

                                        

	
					
										
					

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	경제관념 부족해서 돈 막 쓸 것 같은 스타는?
		  
	운영자
	24/05/13
	-
	-


									
																		

										1985275
																														
																																			
																								팔티통 자물쇠 부순다는건 무슨뜻이야?
																								
																																												 
											[2]																					
										
											내국아톨갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										79
										0
									

																		

										1985274
																														
																																			
																								잰이
																								
																																												 
																																
										
											텐마츠카사갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										51
										1
									

																		

										1985273
																														
																																			
																								루루나와 항상 함께하는 나
																								
																																												 
																																
										
											유자향안락갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										40
										0
									

																		

										1985272
																														
																																			
																								아니 얼굴만 있는데 이게 외 짤리는
																								
																																												 
											[2]																					
										
											내국아톨갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										65
										0
									

																		

										1985271
																														
																																			
																								라면하나먹고 머리잘라야지
																								
																																												 
																																
										
											우리소예아빠갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										25
										0
									

																		

										1985268
																														
																																			
																								프리티 콜라보 카페 오늘부터 오픈
																								
																																												 
											[4]																					
										
											MelticStAr갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										79
										1
									

																		

										1985266
																														
																																			
																								토퍼 옆에 뭔가 한마리가 죽어있는츄
																								
																																												 
																																
										
											모아씹갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										40
										1
									

																		

										1985265
																														
																																			
																								용산 오는놈 없니
																								
																																												 
																																
										
											텐마츠카사갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										75
										1
									

																		

										1985264
																														
																																			
																								¿¡
																								
																																												 
																																
										
											ㅇㅇ(117.111)																					
										05.15
										38
										3
									

																		

										1985263
																														
																																			
																								어여쁜 공주님이 되는 꿈을 꿨는데
																								
																																												 
											[1]																					
										
											베루갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										60
										1
									

																		

										1985260
																														
																																			
																								필티통 또 난리났네 시팔
																								
																																												 
											[3]																					
										
											_새해갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										126
										0
									

																		

										1985259
																														
																																			
																								비번 못 바꿈?
																								
																																												 
																																
										
											텐마츠카사갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										58
										0
									

																		

										1985258
																														
																																			
																								블리치 뮤지컬 웃기는구만
																								
																																												 
																																
										
											아람갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										40
										1
									

																		

										1985257
																														
																																			
																								팔티 두고감
																								
																																												 
											[10]																					
										
											텐마츠카사갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										122
										1
									

																		

										1985255
																														
																																			
																								살려줘...
																								
																																												 
																																
										
											유자향안락갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										24
										0
									

																		

										1985254
																														
																																			
																								멜팡
																								
																																												 
											[7]																					
										
											우리소예아빠갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										81
										0
									

																		

										1985253
																														
																																			
																								이년 뭐하는거냐
																								
																																												 
											[1]																					
										
											MelticStAr갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										65
										0
									

																		

										1985252
																														
																																			
																								기절했다가 겨우깼네
																								
																																												 
											[4]																					
										
											도일출갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										43
										0
									

																		

										1985251
																														
																																			
																								미레이 넘이쁘군
																								
																																												 
											[8]																					
										
											파라라알람갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										73
										0
									

																		

										1985250
																														
																																			
																								아침의 두발
																								
																																												 
											[1]																					
										
											카르페디엠갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										36
										0
									

																		

										1985249
																														
																																			
																								내일 아이프리 봐야지
																								
																																												 
											[4]																					
										
											모아씹갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										56
										2
									

																		

										1985248
																														
																																			
																								아롱사태 삶았어
																								
																																												 
											[1]																					
										
											개허접노포모솔갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										46
										0
									

																		

										1985247
																														
																																			
																								xx하지 않으면 나갈수 없는 방 이거 원작같은거라도 있나
																								
																																												 
											[2]																					
										
											유자향안락갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										57
										1
									

																		

										1985246
																														
																																			
																								용산챤
																								
																																												 
											[3]																					
										
											텐마츠카사갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										87
										1
									

																		

										1985245
																														
																																			
																								완전 귀여운 아즈키쨩짤
																								
																																												 
																																
										
											아람갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										33
										0
									

																		

										1985244
																														
																																			
																								이거 자고 일어나니까 팔렸네
																								
																																												 
											[1]																					
										
											MelticStAr갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										59
										0
									

																		

										1985242
																														
																																			
																								진한거한발뽑고싶구나
																								
																																												 
											[3]																					
										
											우리소예아빠갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										58
										0
									

																		

										1985241
																														
																																			
																								오용고 포기
																								
																																												 
											[8]																					
										
											ㅇㅇ갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										70
										1
									

																		

										1985240
																														
																																			
																								퇴근하니까 부처님이 드디어 오셨구나
																								
																																												 
											[2]																					
										
											도일출갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										49
										1
									

																		

										1985239
																														
																																			
																								미라이는 분명 다양한 감정과 표정을 보여준 거 같은데
																								
																																												 
											[5]																					
										
											유메감게키갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										84
										1
									

																		

										1985238
																														
																																			
																								아침부터 본 아리스짤
																								
																																												 
											[9]																					
										
											유자향안락갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										87
										1
									

																		

										1985237
																														
																																			
																								아 옘병
																								
																																												 
											[4]																					
										
											유메감게키갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										49
										1
									

																		

										1985236
																														
																																			
																								프리티 공식 스승의날 일러 입갤ㅋㅋㅋ
																								
																																												 
											[9]																					
										
											베루갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										122
										2
									

																		

										1985235
																														
																																			
																								나 일어났어
																								
																																												 
											[3]																					
										
											개허접노포모솔갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										46
										1
									

																		

										1985234
																														
																																			
																								알라딘 실사화 이후로 디즈니영화 극장에서 안보게됨
																								
																																												 
											[21]																					
										
											도일출갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										83
										1
									

																		

										1985233
																														
																																			
																								전 흑어공주 재밌게 봤음
																								
																																												 
											[4]																					
										
											섬광의모모해갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										62
										2
									

																		

										1985232
																														
																																			
																								앗똥마려
																								
																																												 
											[4]																					
										
											우리소예아빠갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										40
										1
									

																		

										1985231
																														
																																			
																								흑어공주가 선녀로 보이는 매직
																								
																																												 
											[5]																					
										
											사신짱커맨더갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										91
										1
									

																		

										1985230
																														
																																			
																								치어리더 베루쟝 딸깍
																								
																																												 
											[6]																					
										
											도일출갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										68
										2
									

																		

										1985229
																														
																																			
																								아오 스승의날 아침~♡
																								
																																												 
											[3]																					
										
											픞갤러(1.235)																					
										05.15
										32
										2
									

																		

										1985228
																														
																																			
																								아니 오늘 다들 쉬는 날이였어?
																								
																																												 
											[2]																					
										
											유메감게키갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										48
										2
									

																		

										1985227
																														
																																			
																								오늘도 ai생성된 베루랑 뜨거운 하루를 보내야지
																								
																																												 
											[6]																					
										
											도일출갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										51
										1
									

																		

										1985226
																														
																																			
																								오늘 부처님오신날이구나
																								
																																												 
											[2]																					
										
											섬광의모모해갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										31
										1
									

																		

										1985223
																														
																																			
																								하이큐 우익애니 아니야?
																								
																																												 
											[2]																					
										
											섬광의모모해갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										60
										1
									

																		

										1985222
																														
																																			
																								사쿠라 짤 무슨 폼으로 컴션 넣지
																								
																																												 
											[7]																					
										
											유메감게키갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										68
										1
									

																		

										1985221
																														
																																			
																								프리큐어도 끝났구나
																								
																																												 
											[3]																					
										
											픞갤러(175.202)																					
										05.15
										56
										3
									

																		

										1985220
																														
																																			
																								하이큐 보러왔는데
																								
																																												 
											[7]																					
										
											텐마츠카사갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										62
										2
									

																		

										1985219
																														
																																			
																								음주단속 걸린 치이카와
																								
																																												 
											[2]																					
										
											MelticStAr갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										59
										1
									

																		

										1985218
																														
																																			
																								치이쨩 까끌까끌 뒷머리 기모치이~
																								
																																												 
											[2]																					
										
											MelticStAr갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										64
										0
									

																		

										1985217
																														
																																			
																								코가 대단한 팬아트
																								
																																												 
											[4]																					
										
											MelticStAr갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										87
										1
									

																	
							

							
						

						
												

							

                            	
                            	
                            	                            	
                            	                            	
  								                            	
                            

							

																																																										

						

												
						

    						

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                        	일본인이 말하는 스시여고생들 근황
                        

                    
                 

                         	

                	
                    	
                        	
                        
                        

                        	"물이 저절로 끓어요", 과학인가 미신인가.jpg
                        

                    
                 

                         	
                         	
                         	
                         	
                         	
                         	
                         	
                         	
                         	
                         	
                         	
                         	
                         	
                         	
                          

             
		

     

  
  
  
  


	

    	

        	
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                        	이수진 전북도의원 “잼버리 예산 올해도 17억 원…자료 공개해야”
                        

                     
                 

                  		

                	
                    	
                        	
                        
                        

                        	방시혁, 탄원서로 침묵 깼다 "민희진 악의에 시스템 훼손 안돼"